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萊寶真空提供平板顯示器制造的優化解決方案

萊寶真空推出針對諸如平板顯示器等應用的薄膜制備工藝優化的多種真空系統及附件。在1 月 27 日-29 日的韓國半導體工業技術展覽會上,歐瑞康萊寶真空邀請客戶更多地了解這些富含創新技術的 DRYVAC 系統。

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系統在以下主要應用中表現優異:

  • /過渡室抽空
  • 陣列濺射鍍膜TSPT /彩色濾光片濺射鍍膜 FSPT /液晶盒制備
  • /蒸發鍍膜/ ...
  • TFT-PECVD /TFE-PECVD
  • VCD 光刻膠涂布

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